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超精密空氣靜壓懸浮滑動(dòng)構(gòu)件。搭配精密直線電機(jī)等自動(dòng)化機(jī)電裝置，能實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的精準(zhǔn)滑動(dòng)及定位。
一軸式空氣滑動(dòng)組件（實(shí)例：行程600mm 水平/垂直方向直線運(yùn)動(dòng)精度±0.2μｍ）
XY軸空氣滑動(dòng)構(gòu)件（實(shí)例：行程450mm 水平/垂直方向直線運(yùn)動(dòng)精度±0.3μｍ）
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